CMP抛光垫是半导体制造中不行或缺的要道材料,用于收场晶圆名义的全局平坦化。
(Win Market Research)辰宇信息
界说与责任旨趣:
CMP本领愚弄化学和机械的双重作用来平整晶圆名义,通过化学响应软化上层材料,随后通过机械摩擦去除这些软化层。
在CMP历程中,抛光垫不仅厚爱均匀漫衍抛光液,还要有用移除抛光历程中产生的碎片等残留物,同期传递必要的机械压力以收场材料的高效去除。
种类与应用特质:
团员物抛光垫主要由聚氨酯制成,具有致密的耐磨性和抗扯破性,适用于粗抛历程,能有用进行材料的快速去除。
无纺布抛光垫由赶紧或定向纤维组成,具有较好的液体领受才能,合适细抛工艺,不错提供较低的材料去除率和较高的名义质料。
带绒毛结构的无纺布抛光垫聚积了无纺布的基底和绒毛的名义结构,这种结构有助于在压力作用下领受和排出旧的抛光液,补充新的抛光液,常用于精抛工序中。
复合型抛光垫接管多层不同硬度的材料组合,优化了回弹率和均匀性,减少了使用历程中的凹下问题,擢升了合座的抛光成果和质料。
本领挑战与改动趋势:
跟着半导体建造向更末节点发展,对CMP本领的条目也越来越高,尤其是在保捏高成果的同期还需确保极高精度的名义平整度。
CMP本领的捏续发展需要不休优化抛光垫的诡计和材料,以稳当不休变化的半导体制造需求,包括对环境友好型材料的引诱和使用。
2023年公共CMP抛光垫商场范围糟塌为9.36亿好意思元,展望2030年将达到15.49亿好意思元,2024-2030时分年复合增长率(CAGR)为7.0%。
公共CMP抛光垫(CMP Pads)的中枢厂商包括DuPont、Entegris和Hubei Dinglong等,前五大厂商约占有公共91%的份额。亚太地区是公共最大的商场,占有糟塌85%的商场份额。
居品类型而言,团员物CMP抛光垫是最大的细分,占有糟塌78%的份额,同期就应用来说,300mm晶圆是最大的应用领域,占有约77%的份额。
叙述分析CMP抛光垫行业竞争模样,包括公共商场主要厂商竞争模样和中邦原土商场主要厂商竞争模样,重心分析公共主要厂商CMP抛光垫产能、销量、收入、价钱和商场份额,公共CMP抛光垫产地漫衍情况、中国CMP抛光垫收支口情况以及行业并购情况等。
此外针对CMP抛光垫行业居品分类、应用、行业策略、产业链、坐蓐格局、销售格局、行业发展成心身分、不利身分和参加壁垒也作念了详备分析。
主要企业名单如下,也可凭证条目加多观念企业:
DuPont
Entegris
Hubei Dinglong
Fujibo
IVT Technologies
SK enpulse
KPX Chemical
TWI Incorporated
3M
FNS TECH
按照不同居品类型,包括如下几个类别:
团员物CMP抛光垫
无纺布CMP抛光垫
复合CMP抛光垫
按照不同应用,主要包括如下几个方面:
300mm晶圆
200mm晶圆
其他
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